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基本信息

摘要:本发明公开了一种基于PT对称谐振器的微机械加速度计及其检测方法,其中,PT对称谐振器由两个质量、刚度完全相同的谐振器组成,两个谐振器通过机械耦合结构连接;闭环自激驱动电路连接在两个谐振器之间,用于实现PT对称谐振器的自驱动并调节谐振器的阻尼。检测方法利用待测加速度对PT对称谐振器产生刚度微扰,进而改变PT对称谐振器的谐振频率,通过测量谐振频率分裂量即可实现对未知加速度的测量。本发明可以实现对微弱加速度的测量,同时大大提升了测量灵敏度。

摘要附图: