基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 一种密封式加速度计
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201110388665.0
• 专利权人： 付秀娟;吴楠;周峰;张兰;张晟;张耀;徐国栋;李辉
• 申请人： 航天科工惯性技术有限公司
• 分类号：
• 发明人/设计人： 付秀娟;吴楠;周峰;张兰;张晟;张耀;徐国栋;李辉
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明提供一种密封性能可靠的加速度计，包括表头、混合集成电路、电路工艺孔压盖，混合集成电路内布置有两个可实现电路与表头电气连接的电路工艺孔，在电路工艺孔上依次填放绝缘片和电路工艺孔压盖，所述电路工艺孔压盖激光焊接密封在混合集成电路的电路工艺孔内，所述混合集成电路与表头之间激光焊接密封。本发明通过在现有加速度计基础上增加激光焊接密封设计，解决加速度计在不同环境压强下的内部气体泄漏问题，提高加速度计的整体密封性能，增强加速度计的环境适应性。密封后的漏率小于5.0×10^-10Pa.m³/s。

摘要附图：