基本信息
摘要：本实用新型公开了一种三凸梁式微机械加速度传感器。所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板；其中，敏感芯片采用结构对称的双端固支的双质量块，共包含两个锚区、三个敏感凸梁、两个质量块、四个压敏电阻。其连接关系是，所述的两个质量块通过一个敏感凸梁连在一起，另外两个敏感凸梁分别放置在质量块两端，构成敏感芯片的可动部分；四个压敏电阻分别设置在敏感凸梁上表面；可动部分的两端分别与锚区连在一起构成敏感芯片；所述的敏感芯片与下玻璃板通过键合连接。本实用新型的传感器的固有频率可达300KHz以上，且不使灵敏度下降，避开了常规设计中两者不可协调的矛盾。
摘要附图：
