基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 基于寄生电阻的电容式微机械加速度计相移温度补偿方法
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201510058279.3
• 专利权人： 刘义冬;李丹;金仲和
• 申请人： 浙江大学
• 分类号：
• 发明人/设计人： 刘义冬;李丹;金仲和
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明涉及一种基于寄生电阻的电容式微机械加速度计相移温度补偿方法。电容式微机械加速度计存在一定的串联寄生电阻，在采用载波调制方式检测电容变化并进行正交解调后，可以同时得到幅度信息和相位偏移信息，幅度信息表征加速度大小并受温度影响，而相位偏移主要受寄生电阻的温度漂移影响，因此可以能够有效的利用解调之后的信号进行实时温度补偿，降低系统的温度灵敏度，提高系统的稳定性，同时不需要增加额外的温度补偿电路，减小了面积。

摘要附图：