基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 热式流量计
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201180067266.2
• 专利权人： 中野洋;半泽惠二;松本昌大;浅野哲
• 申请人： 日立汽车系统株式会社
• 分类号：
• 发明人/设计人： 中野洋;半泽惠二;松本昌大;浅野哲
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明提供一种不对其他的元件产生影响而能够对传感元件部进行局部的热处理，从而提高传感元件的灵敏度，并且提高传感元件的可靠性的小型的热式流量计。该热式流量计，具有：形成于半导体基板的空洞部；以覆盖上述空洞部的方式设置的由绝缘膜形成的薄膜部；和形成在上述绝缘膜之间的发热电阻体和测温电阻体，其中，在形成上述薄膜部后，进行对上述薄膜部加热而使上述发热电阻体和上述测温电阻体的晶体粒径生长的热处理。

摘要附图：