基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 微机械z加速度传感器
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201710976930.4
• 专利权人： A·皮格勒尼耶;D·古格尔;G-N-C·乌尔希里;M·林克-莱斯卡纳;S·京特;T·赫尔
• 申请人： 罗伯特·博世有限公司
• 分类号： B81B7/02
• 发明人/设计人： A·皮格勒尼耶;D·古格尔;G-N-C·乌尔希里;M·林克-莱斯卡纳;S·京特;T·赫尔
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号： B81B7/02
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：一种微机械z加速度传感器(100)，所述微机械z加速度传感器具有：具有扭转弹簧(20)的振动质量元件(10)；其中，所述扭转弹簧(20)具有锚固元件(21)，所述扭转弹簧(20)借助所述锚固元件(21)连接到衬底上；其中，所述扭转弹簧(20)在两端处借助在所述振动质量元件(10)的平面内垂直于所述扭转弹簧(20)构造的梁状连接元件(30)与所述振动质量元件(10)连接。

摘要附图：