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基本信息

摘要:本发明涉及微机械加速度计的标定方法,具体是一种基于静电等效力的微机械加速度计自标定方法。本发明解决了现有微机械加速度计标定方法标定过程繁琐、标定结果精度低、应用范围受限的问题。基于静电等效力的微机械加速度计自标定方法,该方法是采用如下步骤实现的:1)产生静电等效力;2)产生反馈力;3)提取出静电等效力对应的电信号中的幅值信号;4)解算出低通滤波器的输出信号的幅值;5)标定微机械加速度计的参数。本发明适用于微机械加速度计的标定。

摘要附图: