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基本信息

摘要:一种三轴加速度计是以单一的可动质量块来测量三个轴向的加速度,因此可获得较紧密的结构。此外,组成差分电容对的各方向检测电容相对于可动质量块的旋转轴对称配置,因此,可动质量块在检测方向运动时,在非检测方向的差分电容值保持不变,其可避免可动质量块运动所产生的检测误差。

摘要附图: