基本信息
摘要：MEMS加速度计芯片测试装置。本实用新型涉及一种MEMS加速度计芯片测试装置。直线电机机身Ⅱ上设置旋转电机Ⅰ与旋转电机Ⅱ，旋转电机Ⅰ的输出轴插入轴承柱Ⅰ的内圈，轴承柱Ⅰ的外圈的顶端连接支撑板Ⅰ，支撑板Ⅰ的上端设置倒L形夹板Ⅰ，倒L形夹板Ⅰ与支撑板Ⅰ之间的空间装入一个MEMS加速度计芯片，旋转电机Ⅱ的输出轴插入轴承柱Ⅱ的内圈，轴承柱Ⅱ的外圈的顶端连接支撑板Ⅱ，支撑板Ⅱ的上端设置倒L形夹板Ⅱ，倒L形夹板Ⅱ与支撑板Ⅱ之间的空间装入一个MEMS加速度计芯片。本实用新型用于MEMS加速度计芯片测试。
摘要附图：
