基本信息
摘要：本发明提供一种用于制备陀螺仪和加速度计的方法。其中，用于制备微机电装置的方法包括提供包括控制电路的第一衬底。该第一衬底具有上表面和下表面。该方法也包括在第一衬底的上表面上形成绝缘层，去除绝缘层的第一部分，从而形成多个突起结构，以及结合第二衬底至第一衬底。该方法进一步包括薄化第二衬底成预定厚度，以及在第二衬底中形成多个沟槽。多个沟槽的每一个延伸至第一衬底的上表面。此外，该方法包括将多个沟槽的每一个的至少一部分填充导电材料，在第二衬底中形成微机电装置，以及结合第三衬底至第二衬底。
摘要附图：
