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基本信息

摘要:本发明加速度计是线性的,具有基本为平面的板状校验块(9),其中,校验块通过4个或更多个挠性安装脚(8)安装到基本为平面的板状支座(10)上,每个安装脚都与校验块(9)同平面;支座(10)相对于校验块(9)而言固定地安装并且与校验块(9)同平面。校验块(9)以此方式安装,在包含校验块(9)、安装脚(8)和支座(10)的平面内沿检测方向作直线运动,以检测作用到加速度计的加速度变化。设置至少两个间隔开的基本为平面的电容极板(11),用于检测所述校验块(9)沿检测方向C的直线运动,其中每个电容极板(11)与校验块、安装脚和支座同平面。校验块(9)、安装脚(8)、支座(10)及电容极板(11)由单个硅板形成,并且安装脚(8)在基本与检测方向C垂直的方向上延伸。设置回复装置,用于使校验块(9)沿检测方向C返回零位。

摘要附图: