基本信息
摘要：本实用新型公开了一种基于频率检测原理的双轴谐振式硅微加速度计，由上下两层构成，上层为制作在单晶硅片上的加速度计机械结构，下层为制作在玻璃衬底上的信号引线；加速度计机械结构由质量块、外框架、两对完全相同的谐振器和八个完全相同的一级杠杠放大机构组成；质量块位于结构的中间，一对谐振器上下对称布置在质量块的上下两侧，用于测量沿y轴输入的加速度，另一对谐振器左右对称布置在质量块的左右两侧，用于测量沿x轴输入的加速度，整个结构呈中心对称图形。本实用新型采用四个谐振器，分别位于质量块的上下、左右两侧，可用于检测两个轴的加速度；避免采用了支撑梁支撑，简化了结构，且结构稳定，同时由加速度转换的惯性力有效地传递到谐振器上。
摘要附图：
