基本信息

• 发明名称： 【实用新型】 一种加速度计
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201220488378.7
• 专利权人： 于连忠;俞度立;杨长春
• 申请人： 中国科学院地质与地球物理研究所
• 分类号：
• 发明人/设计人： 于连忠;俞度立;杨长春
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：一种加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的弹性梁和质量块；所述质量块与所述框架通过多组所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括两根弹性折叠梁,所述弹性折叠梁以所述质量块的中线为轴对称设置；所述测量体的上下表面上均键合有带电极的盖板硅片。并与测量体之间形成一电容。本加速度计具有检测精确度高、稳定性强、噪声低等优点。

摘要附图：