基本信息
摘要：本发明公开了一种单片集成光学加速度计。本发明包括宽谱光源、加速度敏感单元、光电探测器、基底、制冷片、封装外壳，加速度敏感单元集成了模斑转换器、1:2型Y波导、2:1型Y波导调制器、金属电极；宽谱光源的光经过模斑转换器耦合进1:2型Y波导中，实现3dB分光，两束光经过1:2型Y波导的上下两个分支后进入2:1型Y波导调制器，最后直接耦合进入光电探测器中。本发明的光学加速度计采用马赫曾德干涉仪结构，检测由外界加速度引起的两干涉臂的相位差，不受光源光强波动的影响，探测精度高，器件单片集成在同一基底上，集成度高，体积小，制作工艺简单，具有高的可靠性和环境适应性。
摘要附图：
