基本信息
摘要：本发明提供一种采用Si基MEMS技术加工的压阻式大过载加速度计，本发明利用Si材料的压阻效应，当所受应力发生改变时其体电阻也随之改变，通过在Si表面离子注入形成压电电阻，并将电阻连接成惠斯通电桥的形式，并将压阻下面的区域挖空形成一个薄膜，当有外界冲击时，薄膜在惯性作用下发生形变，从而使电桥的一对电阻变大，一对电阻变小，从而电桥输出发生改变，从而实现了从机械冲击信号到电信号的转变，输出信号经放大和温度补偿之后就可以用来标定加速度的大小。本发明的压阻式大过载加速度计灵敏度较高，加工工艺与集成电路工艺兼容，易于实现；采用压阻工作信号处理电路简单；便于设计抗高过载结构。
摘要附图：
