基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 用于感测加速度的微机械系统
• 申请日： 1970-08-21
• 申请号/专利号： CN201010282277.X
• 专利权人： J·克拉森
• 申请人： 罗伯特·博世有限公司
• 分类号： G01P15/08
• 发明人/设计人： J·克拉森
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号： G01P15/08
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：一种用于感测加速度的微机械系统，包括：基底，具有第一和对置的第二杠杆臂的摆臂式质量结构以及在基底上构造的第一和第二电极，这些杠杆臂设置得与基底间隔开并且可绕一转动轴线翻转，其中，每一个电极与一个杠杆臂对置，并且，每个杠杆臂包括一个从转动轴线延伸出的区段，所述区段位于电极之间的中间空隙的上方，两个区段具有不同的质量。

摘要附图：