基本信息
摘要：本发明公开了一种带有后装配梳齿的电容式微机械加速度计，属于微机电系统中的惯性传感器技术领域。该加速度计的固定梳齿22连接在可动的刚性梁30上，刚性梁30上同时还连接有装配定位结构32和装配自锁结构的活动端34，装配自锁结构的活动端34与装配自锁结构的固定端36组合形成装配自锁结构；装配自锁结构的活动端34在梳齿静电力作用下，在装配自锁结构的固定端36中平移。本发明通过后装配的方式有效避免了微机电系统加工技术的最小线宽对电容间距的限制，后装配梳齿不但增加了微机械加速度计单位面积上的梳齿数量，同时减小了梳齿间距，可将电容值增加10倍以上，是实现高灵敏度电容式微机械加速度计的有效措施。
摘要附图：
