基本信息
摘要：本发明公开了一种高分辨率亚纳量级光学三维加速度计。光源经光分束器分别与三个光纤耦合器相连，三个光纤耦合器分别经三个光信号放大器与带通滤波器输入端相连，带通滤波器的三个输出端经AD转换器分别与数字信号处理电路板的输入端相连，数字信号处理电路板的输出端经DA转换器与三维压电陶瓷柱的三个调制信号输入端相连，三个加速度计质量块分别与弹簧机械连接；三个单模光纤探头设置在三维压电陶瓷柱上，分别与设置在加速度计质量块上的反射镜的反射面垂直靠近。本发明可将加速度计分辨率的数量级提高到109以上，且结构简单，三个互相垂直方向上的加速度计完全集成于一体内，测量速度快，实时监控，兼容性好。适用于要求高精度，高分辨率的场合。
摘要附图：
