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基本信息

摘要:本发明提供一种能够高精度并且容易地检测加速度的加速度测量装置。上述加速度测量装置,检测可摇动地设置的振子部件(2)的位置位移,使用致动器(5)进行反馈控制以保持振子部件的静止状态,测量此时的致动器的输出,由此测定加速度,在上述加速度测量装置中,在振子部件上设置有可动电极(33(35)),电串联连接与该可动电极相对地设置的固定电极(36(38))、振荡电路(41)、晶体振子(4)和可动电极(33(35))形成环路。此时通过测量振荡电路(41)的振荡频率,来检测在可动电极(33(35))与固定电极(36(38))之间形成的可变电容(Cv1(Cv2))的大小的变化,由此检测振子部件的位置位移。

摘要附图: