基本信息
摘要：本发明公开了膜片上FBAR结构的微加速度计，包括惯性力敏结构、检测元件和复合薄膜，复合薄膜用于连接惯性力敏结构和检测元件，惯性力敏结构位于复合薄膜的下方，检测元件位于复合薄膜的上方；惯性力敏结构包括Si质量块、Si基座与空腔；Si质量块设置于复合薄膜底部的中心区域，Si基座呈环状设置于复合薄膜底部的边沿区域，Si质量块、Si基座与复合薄膜之间为空腔，即Si基座包围Si质量块，Si质量块、Si基座被空腔隔开，Si质量块和空腔上面对应的复合薄膜为弹性膜片区域；检测元件包括FBAR、引线、焊盘，FBAR通过引线与焊盘连接；本发明具有可制造性好、温度稳定性高、模态间的交叉耦合小、机械强度高的优点。
摘要附图：
