基本信息
摘要：本实用新型公开了一微电子机械系统电容式相对湿度传感器，其特征在于：该湿度传感器包括设有空腔（5）的衬底（1）、设在衬底（1）上的氧化层（2）、分别设置在氧化层（2）上的第一电容电极（3）和第二电容电极（4），第一电容电极（3）和第二电容电极（4）设置在空腔（5）上方，第一电容电极（3）包括若干平行的第一电极（33）、将第一电极（33）连接在一起的第一公共端（31）、每个第一电极（33）设有与第一公共端（31）相对的第一自由端（32），第一电极（33）连接第一公共端（31）和第一自由端（32）。本实用新型成本低，精度高，抗干扰性强，长期稳定性好。
摘要附图：
