基本信息
摘要：本发明提供了一种MEMS转动加速度传感器及转动加速度测量装置，涉及传感器领域。其通过将第一可动电容极板设置于第一质量块上随第一质量块转动，第二可动电容极板设置于第二质量块上随第二质量块转动，第一固定电容极板固定连接于壳体上与第一可动电容极板组成第一可变电容器，第二固定电容极板固定连接于壳体上与第一可动电容极板组成第二可变电容器，第一电荷放大电路与第一可变电容器耦合，第二电荷放大电路与第二可变电容器耦合，第一电荷放大电路与第二电荷放大电路用于与处理器耦合，以根据输出电压判断MEMS转动加速度传感器是否处于转动状态。本发明能够提供一种结构简单、体积小巧的转动加速度传感器，能精确判断构件是否转动。
摘要附图：
