基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 一种MEMS电容式加速度计特征参数测量系统及测量方法
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201811567085.6
• 专利权人： 付强;刘晓为;尹亮;张宇峰;陈东亮
• 申请人： 哈尔滨工业大学
• 分类号： G01P21/00
• 发明人/设计人： 付强;刘晓为;尹亮;张宇峰;陈东亮
• 公开日/公告日： 1970.08.23
• 优先权号： G01P21/00
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明公开了一种MEMS电容式加速度计特征参数测量系统及测量方法，所述测量系统包括平衡式电容电桥与检测接口电路两部分，平衡式电容电桥由第一匹配电容C_ref1、第二匹配电容C_ref2和MEMS电容式加速度计构成；检测接口电路由第一电荷放大器、第二电荷放大器、仪表放大器、频谱分析仪、第一反馈电容C_f1、第二反馈电容C_f2构成。本发明的测量系统可以实现对MEMS电容式加速度计中敏感电容的驱动和检测以及对不同特征参数的分离提取。本发明的电学测量方法以电学测量系统为基础，配合精确的传感器姿态控制，可以准确的实现MEMS电容式加速度计的特征参数的测量，进而为后续接口电路的设计工作提供参考和指导。

摘要附图：