基本信息
摘要：本发明公开了一种基于机械超材料的加速度敏感机构及复合灵敏度微机械加速度计，加速度计包括加速度敏感机构、位移传感机构和灵敏度切换执行机构；加速度敏感机构包括质量块、折叠梁和机械超材料周期性结构；折叠梁的一端和机械超材料周期性结构的一端分别与质量块的两端相连，折叠梁用于为加速度敏感机构提供正刚度，机械超材料周期性结构用于提供随位移变化呈现正、负相间的刚度；灵敏度切换执行机构用于控制质量块移动到不同的刚度区域。本发明采用机械超材料周期性结构和折叠梁串行连接的方式，形成具有多个不同斜率的应力应变线性区域的柔性结构；可使加速度敏感机构的柔性结构在不同位置处具有不同的刚度，因而具有多个灵敏度。
摘要附图：
