基本信息
摘要：一种折叠梁式高灵敏度微机械加速度计，包括上盖、敏感硅结构和下盖，上盖设有上固定电容板，下盖设有下固定电容板，敏感硅结构包括固定框架、敏感质量块和折叠梁，固定框架各侧边均设有应力释放槽，固定框架于应力释放槽与固定框架内侧之间形成匹配梁，敏感质量块设于固定框架中间，并通过折叠梁连接于匹配梁上，上固定电容板包括上检测电极和上匹配电极，上匹配电极围设于上检测电极四周，下固定电容板包括下检测电极和下匹配电极，下匹配电极围设于下检测电极四周，敏感质量块位于上检测电极和下检测电极之间，匹配梁位于上匹配电极和下匹配电极之间。该折叠梁式高灵敏度微机械加速度计具有结构简单、制备方便、成本低廉、温度漂移小的优点。
摘要附图：
