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基本信息
摘要:本实用新型微机械系统材料的应变测量装置,特 别是用于几微米到几百微米尺寸材料的应变测量,属 于用于计量固体形变的以机械方法为特征的计量设 备,包括探针及长焦距显微镜。其特征在于有可在空 间四个方位微调的探针台及测量微力大小及位移的 精密天平。可用天平砝码、柔性探头的液体压力或小 型电磁铁对试样施力。是一种技术上易于实现、成本 低、操作方便的测定微机械系统材料或元件力学性能 的测量装置。
摘要附图: