基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 一种耐高温石英挠性加速度计伺服电路及其加工方法
• 申请日： 1970-08-23
• 申请号/专利号： CN201911008457.6
• 专利权人： 张明;徐鑫;赵国良;阮晓明
• 申请人： 西安微电子技术研究所
• 分类号：
• 发明人/设计人： 张明;徐鑫;赵国良;阮晓明
• 公开日/公告日： 1970.08.23
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明提供了一种耐高温石英挠性加速度计伺服电路及其加工方法，包括电容电压转换器、跨导/补偿放大器和反馈网络，所述电容电压转换器包括差动电容检测器和积分网络，差动电容检测器与加速度计表头的差动电容传感器连接，差动电容检测器、积分网络和跨导/补偿放大器依次连接，跨导/补偿放大器与加速度计表头的力矩器连接；反馈网络与跨导/补偿放大器连接；所述的伺服电路全部元器件采用耐150℃高温元器件，全部元器件采用厚膜混合集成工艺封装在厚膜陶瓷基板上。通过与耐高温加速度传感器匹配，可提升加速度系统模块器件的耐高温能力，完成极端环境下对加速度的测量。

摘要附图：