基本信息
摘要：本发明提供一种三轴集成硅微谐振式加速度计，主要包括：一玻璃基底；一双轴硅微谐振式检测结构及一单轴硅微谐振式检测结构设置于所述玻璃基底的表面；所述双轴硅微谐振式检测结构包括一质量块及四个硅微机械结构单元，所述四个硅微机械结构单元围绕所述质量块的中心呈中心对称分布；所述单轴硅微谐振式检测结构包括一第一质量块、一第二质量块呈镜像对称设置；一第一振梁及一第二振梁平行设置于所述第一质量块与第二质量块之间，且所述第一振梁及第二振梁在垂直于玻璃基底表面的方向上即Z轴方向上具有不同的高度。
摘要附图：
