基本信息
摘要：本发明涉及微机械电子技术，具体是一种三轴压阻微加速度计。解决了现有三轴压阻加速度计制作工艺、结构复杂、体积和质量较大、不易在高温场合使用的问题，包括支撑框体、弹性梁、通过弹性梁支悬于支撑框体中间的质量块，质量块四边分别通过两根平行弹性梁与支撑框体固定，支撑框体下底面通过静电键合技术键合有玻璃底盖，弹性梁与质量块、支撑框体的固定端部设置有阻值相等的应变压敏电阻，支撑框体上还设置有六个阻值相等的基准压敏电阻，压敏电阻连接构成三个分测三轴方向加速度的惠斯通电桥，结构合理，体积微小，易于加工，可应用于一些高温场合，可测得三个轴向的加速度。
摘要附图：
