基本信息
摘要：本实用新型公开了一种外差激光测量加速度计高频振动幅相特性的测量装置，主要包括：外差式激光干涉仪、压电式高频振动台激励系统和数据采集处理系统等；外差式激光干涉仪通过组合透镜聚焦，只需漫反射光就可进行测量，减少了平面反射镜的误差；高频振动台采用压电晶体叠堆而成，它包括至少4片压电晶体片、隔振胶片、台体基座和质量块；隔振胶片设置在台体基座上，压电晶体片依次叠加在隔振胶片上，相邻晶体片相接面正极与正极相接，负极与负极相接。本实用新型能在(2～50)kHz的频率范围及(1～500)nm的位移范围内，实现加速度计复灵敏度的幅值和相位移频率响应及线性度的准确测量。
摘要附图：
