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基本信息
摘要:一种陶瓷厚膜式加速度传感器,金属外壳封装在带有引线管脚的金属支架上,在金属外壳内设置有同金属支架连接的底板,底板上设置有垫块,垫块上设置有条形Al2O3陶瓷悬臂梁,在该悬臂梁上表面印制有构成惠斯通电桥的厚膜电阻。本实用新型生产工艺大部分兼容厚膜生产工艺,因而生产工艺简单,生产周期短,产品成本低,产品性能等同或优于硅压阻式加速度传感器。
摘要附图: