基本信息
摘要：三轴加速度计包括单集成质量块，包括至少一个横向(x‑y)质量块和至少一个垂直(z)质量块。垂直质量块被布置为跷跷板质量块，其位于横向质量块内。垂直质量块使用一个或多个扭转弹簧机械地耦合到横向质量块，并且横向质量块使用一个或多个横向弹簧机械地耦合到一个或多个锚。所述至少一个垂直质量块可以围绕三轴加速度计的一个或多个轴对称地定位，使得3‑轴加速度计具有面内对称性。三轴加速度计可能不太容易受到机械串扰或噪声的影响，并且可以提供较小的封装解决方案来感测三个方向的加速度。
摘要附图：
