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基本信息
摘要:一种光学头物镜倾斜度测量装置,包括:光源;位于光源和物镜之间、对光源发出的光准直的准直仪;将来自准直仪的光会聚到物镜表面的聚光镜;接收由物镜反射后通过聚光镜的光的光接收元件;位于准直仪和聚光镜之间的光路上,将入射光一部分导向聚光镜而将其余部分光导向光接收元件的光路转换装置。通过检测光源发出的直接照射到光接收元件上的光的位置与经物镜反射后照射到光接收元件上的光的位置之间的差来测量物镜的倾斜度。
摘要附图: