基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 一种微机械差分电容式压力计
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201310090325.9
• 专利权人： 张扬熙;杨琛琛;高成臣
• 申请人： 北京大学
• 分类号： G01L1/14
• 发明人/设计人： 张扬熙;杨琛琛;高成臣
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号： G01L1/14
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明公开了一种微机械差分电容式压力计。该压力计的两个电容由三个电容极板组成：由玻璃片或硅片上淀积金属形成的上极板，重掺杂的硅形成的下级板，与敏感压力的膜片部分相连的单晶硅或多晶硅形成的中间可动极板。本压力计基于压力计结构中基本的硅杯结构，当压力作用于敏感膜片时，膜片变形，连接在敏感膜片上的中间极板也随之变形，从而使得上下两个电容的电容值发生变化，形成差动的信号输出。该压力计的制备工艺简单，可利用差动结构的优点，实现对压力的差动检测。

摘要附图：