基本信息
摘要：本发明涉及微机电系统技术领域，尤其涉及一种微机电系统的三轴加速度计，包括：第一质量块，第一质量块包括第一惯性区和第一Z轴电极区，还包括一第一转轴设置于第一惯性区与第一Z轴电极区之间，第一质量块通过第一转轴可枢转的连接于一锚点上；第二质量块，第二质量块包括第二惯性区和第二Z轴电极区，还包括一第二转轴设置于第二惯性区与第二Z轴电极区之间，第二质量块通过第二转轴可枢转的连接于锚点上；第一Z轴电极区及第二Z轴电极区同一朝向的表面设置有用以减轻重量的凹陷。有益效果：降低电容式加速度计的偏移量，增加其机械灵敏度和电容灵敏度。
摘要附图：
