基本信息
摘要：本发明公开了一种微机械加速度计的调谐控制方法。该加速度计包含混合调谐结构、线性检测结构、以及线性力反馈结构。其中，混合调谐结构是由梳齿电容结构和三角形栅电容结构组成，梳齿电容结构虽具有较大的谐振频率调谐能力但调谐过程含有非线性，而三角形栅电容结构虽具有较小的谐振频率调谐能力但调谐过程是线性的，将两者结合使用可实现较大范围以及精确的谐振频率调谐能力。检测和力反馈结构均采用变面积型电容结构，可以实现对外界加速度的线性检测以及闭环下的线性力反馈。本发明原理简单，实现方便，能应用于各类低谐振频率或低刚度的微机械静态或谐振器结构。
摘要附图：
