基本信息
摘要：本发明公开了一种光栅组微机械加速度传感器及其测量加速度的方法，该传感器包括四组发射接收装置、增反层、第一固定底座、第二固定底座、回形悬臂梁、上层电容平板、下层电容平板、信号处理模块和电流驱动模块；发明依据伍德异常现象，利用两层光栅由于加速度对质量块的牵引所产生的位移时，反射光产生脉冲式变化的现象，通过在两光栅层制作多组光栅，每组光栅中上下两层光栅初始相对位置的不同设定，使得每组光栅产生脉冲式变化对应的上下两层光栅的微位移量不同，对应的加速度也不同，从而对加速度信号细分，测量加速度。发明实现了传感系统的小型化，精度高，在航空、军事领域都有很广泛的应用前景。
摘要附图：
