基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 用于加速度测量和陀螺测量的光电机械传感器
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201480062268.6
• 专利权人： D.N.哈基森;J.赫克
• 申请人： 英特尔公司
• 分类号： G02B6/42
• 发明人/设计人： D.N.哈基森;J.赫克
• 公开日/公告日： 1970.08.23
• 优先权号： G02B6/42
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本公开的实施例涉及用于MEMS装置的技术和配置，MEMS装置被配置为确定施加到装置的惯性改变。在一个实例中，该装置可以包括：激光装置，被配置成生成具有谐振波长的光束；波导，配置为接收并输出所述光束；以及光学谐振器，包括可变形闭合环路并且光学耦合到所述波导以接收所述光束的一部分。光学谐振器的变形可以导致行进穿过光学谐振器的光束的一部分的光路长度改变，从而引起由波导输出的光束的谐振波长的改变。其它实施例可以被描述和/或要求保护。

摘要附图：