基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 带改进型检测电路的微机械加速度计
• 申请日： 1970-08-20
• 申请号/专利号： CN95108051.2
• 专利权人： 罗伯特·M·博伊塞尔
• 申请人： 德克萨斯仪器股份有限公司
• 分类号：
• 发明人/设计人： 罗伯特·M·博伊塞尔
• 公开日/公告日： 1970.08.20
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：采用微机械部件测量加速度的装置。一实施例有一个或多个加速度部件，每个部件有一片状物，并用一柔性铰链在其两端悬置该片状物。响应于加速度，片状物可绕轴沿第一和第二转动方向偏转。每个部件还有电极，当片状物沿任一方向偏转时，用电极来感知片状物的偏转。根据偏转是接触式、非接触式还是反馈式，不同的检测电路以不同的方式工作。

摘要附图：