基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 一种巨磁阻效应三轴加速度计
• 申请日： 1970-08-22
• 申请号/专利号： CN201210330126.6
• 专利权人： 刘俊;李孟委;李锡广;王莉;苏树清;郑伦贵
• 申请人： 中北大学
• 分类号：
• 发明人/设计人： 刘俊;李孟委;李锡广;王莉;苏树清;郑伦贵
• 公开日/公告日： 1970.08.22
• 优先权号：
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：本发明公开了一种巨磁阻效应三轴加速度计，包括：键合基板；巨磁敏电阻和微加速度计，巨磁敏电阻设在键合基板上表面，且与各检测方向加速度计敏感质量块上表面的巨磁敏电阻位置对应；微加速度计设在键合基板上方并与键合基板相连接，其包括：敏感质量块，铁磁性薄膜和悬臂梁。根据本发明的三轴微机械加速度计采用整体结构设计，三种检测不同方向的加速度计集成制作于同一框体上，结构合理，检测电路简单，使用方便、可靠性好、适合微型化。

摘要附图：