基本信息
摘要：本发明公开了一种单片双轴蝶翼式微机械加速度计，包括敏感硅结构和玻璃基板，所述敏感硅结构设有四件作为活动电容板的敏感质量块，所述玻璃基板上设有与所述四个敏感质量块一一对应且相对设置的固定电容板，所述敏感硅结构与玻璃基板键合连接，所述敏感硅结构还包括固定框架、支撑斜梁和梯形悬臂梁，所述四件敏感质量块分别为两件平板质量块和两件凹板质量块，所述支撑斜梁两端连接于固定框架内侧并将固定框架内侧分隔为两个区域，各区域分别设一件平板质量块和一件凹板质量块，各敏感质量块通过梯形悬臂梁连接于支撑斜梁上。该单片双轴蝶翼式微机械加速度计具有较好温度稳定性、鲁棒性好、成本低廉的优点。
摘要附图：
