基本信息
摘要：本发明公开了一种单片三轴微机械加速度计，包括键合连接为一体的上盖、下盖以及多个带有活动电容极板的敏感质量块组件，所述多个敏感质量块组件呈中心中心对称结构布置于上盖和下盖之间，所述上盖和下盖上均设有多个固定电容板，上盖上的多个固定电容板与下盖上的多个固定电容板一一对应、且相对设置，各敏感质量块组件设于上、下两个固定电容板之间形成多个差分电容。该单片三轴微机械加速度计在小量程范围内具有较好的线性度和灵敏度、加工工艺简单、重复性好、灵敏度高、成本低廉。
摘要附图：
