基本信息
摘要：本实用新型公开了一种微型热流加速度计，涉及传感器领域中的一种加速度计。它由密闭的单晶硅片、加热丝、温度传感器、内外腔体、检测电路等部件构成。它以气体为敏感介质、利用气体自然对流在加速度作用下发生改变的原理，测量某一坐标轴或同时测量两个坐标轴方向加速度的一种微传感器。它的加热丝和温度传感器悬固在硅腔体上面。加热丝产生的热场在有加速度时发生改变，通过检测电路检测温度传感器的温度变化从而测量出加速度值。本实用新型无检验质量块、弹性梁或应变梁等活动部件，因此它具有性能可靠，工艺简单成熟，制造成本低廉，采用微机械加工技术便于批量生产等特点，特别适用于智能炮弹、汽车、玩具等场合作加速度传感器。
摘要附图：
