基本信息
摘要：本实用新型公开了一种惯性测量模块及三轴加速度计，包括通过弹性梁悬空支撑在基板上方的质量块；弹性梁包括位于两条用于连接质量块的第一弹性梁，以及与两条第一弹性梁十字交叉连接的用于连接基板的第二弹性梁，两条第一弹性梁沿着质量块X轴方向的中线对称分布，第二弹性梁偏离质量块Y轴方向的中线；质量块在Y轴、X轴方向上还设置有第一可动电极、第二可动电极；本实用新型的惯性测量模块，平面内的某一轴的运动不会受到结构偏心特性的影响，而且采用两条沿着质量块X轴方向中线对称的第一弹性梁连接质量块，可以确保质量块不会沿着第一弹性梁发生偏转，质量块与第一弹性梁之间只会发生线运动，从而提高了检测的精度；而且也不会加剧轴间的耦合。
摘要附图：
