基本信息
摘要：本发明提供了一种惯性测量模块及三轴加速度计，包括位于基板上的第一极片，以及通过弹性十字梁悬空连接在基板上方的质量块；所述弹性十字梁包括第一弹性梁、第二弹性梁，第二弹性梁的两端连接在基板的锚点上，第一弹性梁的两端连接质量块；所述第一弹性梁和/或第二弹性梁的中心偏离质量块的重心；所述质量块在Y轴、X轴方向上还设置有第一可动电极、第二可动电极；本发明的惯性测量模块，平面内的某一轴(X轴、Y轴)的运动不会受到结构偏心特性的影响，使得X轴、Y轴的运动均是线运动，从而不会加剧轴间的耦合；另一方面也不会降低质量块在X轴、Y轴上的位移量，提高了电容检测的精度。
摘要附图：
