基本信息
摘要:本发明提供质量流量计以及速度计。质量流量计具备在加热器部(13)的两侧分别形成有第1、第2传感器部(11、12)的流量传感器(10)。流量传感器(10)具备由热塑性树脂构成且多个层叠的绝缘层(100、110、120)、以及相对于这些绝缘层形成且相互连接的第1导电体、第2导电体(130、140),由将多个绝缘层(100、110、120)一边加热一边加压而一体化的多层基板构成。当具有从加热器部(13)放出的热的流体沿着流量传感器(10)的一面移动时,第1、第2传感器部(11、12)产生与在各自的区域内的一面与另一面之间产生的温度差相应的大小的电动势。流量传感器(10)为将多个绝缘层一边加热一边加压而一体化从而制造的构造,且为不存在隔膜正下方的空间那样的大的空间的构造,因此与具有隔膜构造的传感器相比难以破损。
摘要附图: