基本信息
摘要：本发明公开了一种微型六轴集成加速度计陀螺仪的惯性传感器及其应用方法，该惯性传感器能够同时测量三维空间坐标中运动物体的三轴加速度和三轴角加速度。该传感器采用MEMS工艺在硅片上刻蚀微结构：振子、弹性梁和外框架，利用振子的惯性力测量三轴加速度和三轴角加速度，通过在振子表面粘接平衡质量块和非平衡质量块的方法实现加速度信号和角加速度信号的解耦，采用半导体掺杂工艺在弹性梁上制作力敏电阻，通过特殊的力敏电阻组桥方法和信号处理方法，得到运动物体的三轴加速度和三轴角加速度。本发明主要应用在车辆、船舶等中等精度要求的导航。
摘要附图：
