基本信息

• 发明名称： 【发明专利】 半导体加速度计和评价其传感元件特性的方法
• 申请日： 1970-08-20
• 申请号/专利号： CN96105485.9
• 专利权人： 上柳胜道;西川睦雄
• 申请人： 富士电机株式会社;富士通天株式会社
• 分类号： G01P21/00
• 发明人/设计人： 上柳胜道;西川睦雄
• 公开日/公告日： 1970.08.21
• 优先权号： G01P21/00
• 代理机构：
• 代理人：
• PCT申请号： 无
• PCT申请日期： 无
• PCT进入国家阶段日： 无
• 生物宝藏信息： 无
• 审查员： 无

摘要：根据本发明的半导体加速度计，它有大量用来调整其偏移的电阻和一个所述电阻在其中是交错排列的传感元件，用来盖住传感元件的封装有至少一个接头使之可与安装有半导体加速度计的被测样品连接。根据本发明的半导体加速度计有可靠的灵敏度且能大批量生产。另外，根据本发明的用来评价传感元件性能的方法是在传感元件和绝缘体的金属表面间施加恒定或交变的电流以产生一静电力，从而传感元件的灵敏度，频率等特性能很容易被评价。

摘要附图：