基本信息
摘要:本实用新型提供了一种加速度传感器及加速度测量装置。该加速度传感器包括:第一结构层和第二结构层;两个结构层相对设置形成起电界面,两个结构层均包括作为起电界面的层结构,其任一者或两者中作为起电界面的层结构至少包括具有镂空栅格结构的层结构;其任一者或两者中至少包括作为输出电极的层结构;当两个结构层中的一个运动时,起电界面之间产生的电信号由两个结构层中包括的作为输出电极的层结构输出。本实用新型提供的加速度传感器及加速度测量装置,不仅能够根据用户的需求,测量任意时段内的加速度,还能够通过调整镂空和栅格的宽度,来满足用户对测量加速度的精度要求,且其结构及制作工艺简单、成本低廉、适合大规模工业化生产。
摘要附图: