基本信息
摘要:本发明公开了一种微机械加速度计控制方法及装置,该方法包括适用于具有驱动电极结构和调谐结构的微机械加速度计,本发明将一定频率的余弦注入调制信号施加到微机械加速度计的驱动电极上,固定调谐电压施加到非线性调谐结构上,将微机械加速度计经过高频载波调制解调模块后的输出信号一路通过频率自调节模块得到调谐控制信号并施加在线性调谐结构上,另一路通过加速度闭环测量模块得到外界输入加速度大小并且形成闭环反馈控制信号,所形成的闭环反馈控制信号和一定频率的余弦注入调制信号一起共同作用到驱动电极上。本发明可以实现任意控制微机械加速度计的谐振频率大小,同时不影响加速度测量,能有效提高微机械加速度计的稳定性和精度。
摘要附图: